سیمیکمڈکٹر انڈسٹری چین میں ، درجہ حرارت کی استحکام اور درستگی براہ راست چپ کی پیداوار ، عمل میں مستقل مزاجی اور سامان کی عمر کو متاثر کرتی ہے۔ سیمیکمڈکٹر چلر ، خاص طور پر اس صنعت کے لئے تیار کردہ صحت سے متعلق درجہ حرارت پر قابو پانے کے سامان کے طور پر ، بنیادی عملوں جیسے ویفر تانے بانے ، فوٹو لیتھوگرافی ، اینچنگ ، پتلی فلم جمع ، اور پیکیجنگ ٹیسٹنگ کے لئے ناگزیر ٹھنڈک فراہم کرتے ہیں ، ان کے الٹرا {1- کم درجہ حرارت ، اعلی پیشرفت ، اور اعلی وشعنیت کی بدولت۔ وہ جدید عمل کی ترقی کے لئے ایک اہم بنیاد ہیں۔
سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل درجہ حرارت کے لئے انتہائی حساس ہیں۔ مثال کے طور پر ، فوٹوولیتھوگرافی میں ، عینک اور ماسک اسٹیج میں منٹ کے درجہ حرارت کی بھی بہاؤ پیش گوئی شدہ تصویری نقل مکانی کا سبب بن سکتی ہے ، جس سے لائن وڈتھ کی درستگی کو شدید متاثر کیا جاسکتا ہے۔ اینچنگ اور کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) میں رد عمل کے چیمبروں کو فلم کی موٹائی کی عدم استحکام یا رد عمل کی شرح میں اتار چڑھاو کی وجہ سے بڑھتے ہوئے نقائص سے بچنے کے لئے کولنگ میڈیم کے سخت درجہ حرارت پر قابو پانے کی ضرورت ہوتی ہے۔ آئن امپلانٹیشن اور جسمانی بخارات جمع (پی وی ڈی) کا سامان چلیوں پر انحصار کرتا ہے تاکہ تیز رفتار - توانائی کے بیموں کے ذریعہ پیدا ہونے والی گرمی کو دور کیا جاسکے ، جس سے عمل ونڈو استحکام کو برقرار رکھا جاسکے۔ لہذا ، سیمیکمڈکٹر چلر کو نہ صرف بڑی ٹھنڈک کی گنجائش فراہم کرنا ہوگی بلکہ ± 0.1 ڈگری یا اس سے بھی زیادہ صحت سے متعلق متحرک درجہ حرارت پر قابو پانے کے لئے بھی حاصل کرنا چاہئے اور اچانک بوجھ کی تبدیلیوں کا جلدی سے جواب دینے کے قابل ہونا چاہئے۔
ڈیزائن اصولوں کے لحاظ سے ، سیمیکمڈکٹر چلر "الٹرا - استحکام" اور "صفائی ستھرائی" پر زور دیتے ہیں۔ ریفریجریشن سسٹم بنیادی طور پر جھرن یا کریوجینک سکرو/سینٹرفیوگل کمپریسرز کا ایک مجموعہ استعمال کرتا ہے ، جس میں مختلف عمل کے مراحل کی مختلف ضروریات کو پورا کرنے کے لئے - 40 ڈگری سے وسیع ٹھنڈک صلاحیت کی پیداوار حاصل ہوتی ہے۔ ہیٹ ایکسچینجر دباؤ ڈراپ کو کم کرنے اور گرمی کے تبادلے کی شرحوں میں اضافے کے ل high اعلی - کارکردگی ، سنکنرن مزاحم مواد اور بہتر فلو چینل ڈھانچے کا استعمال کرتے ہیں۔ گردش پائپ لائن میں ایک مکمل طور پر منسلک ڈیزائن کی خصوصیات ہے جس میں الیکٹرویلیٹک پالش کرنے یا اندرونی دیواروں کے گزرنے کے علاج کے ساتھ ، کلین روم ماحول کے ذرہ یا مائکروبیل آلودگی کو روکنے کے لئے آن لائن فلٹریشن اور نس بندی کے ماڈیولز کے ساتھ مل کر۔ ریفریجریٹ سلیکشن ماحولیاتی دوستی اور تھرمل کارکردگی کو متوازن کرتا ہے۔ کچھ ماڈلز کم جی ڈبلیو پی حلوں میں تبدیل ہوگئے ہیں ، جو بین الاقوامی اخراج میں کمی کے رجحانات کے ساتھ صف بندی کرتے ہیں۔
ذہین کنٹرول ایک اور بنیادی فائدہ ہے۔ یہ یونٹ متعدد اعلی - صحت سے متعلق درجہ حرارت کے سینسر اور انکولی الگورتھم سے لیس ہے ، جس سے درجہ حرارت کی انحراف کی حقیقی - وقت کی نگرانی اور اصلاح کو قابل بنایا جاسکتا ہے۔ عمل کے سازوسامان کے بوجھ سگنلز کے ساتھ مل کر ، اوورکولنگ یا زیادہ گرمی کی وجہ سے توانائی کے فضلے کو کم کرنے کے لئے پیش گوئی کرنے والی ایڈجسٹمنٹ کی جاتی ہیں۔ اسی کے ساتھ ، یہ نظام ریموٹ مانیٹرنگ اور غلطی کی تشخیص کے افعال کو مربوط کرتا ہے ، جس سے صاف ستھرا آپریشن اور کلین رومز یا دھماکے میں تیزی سے دیکھ بھال کی سہولت ملتی ہے - پروف ماحولیات۔
سیفٹی فالتو پن کا ڈیزائن مستقل پیداوار کو یقینی بناتا ہے۔ کلیدی اجزاء جیسے کمپریسرز ، گردش کرنے والے پمپ ، اور پاور ماڈیول اکثر n +1 یا فالتو پن کی ترتیب کو ملازمت دیتے ہیں ، اور بہاؤ ، دباؤ اور درجہ حرارت کے ل multiple ایک سے زیادہ حفاظتی انٹلاک سے لیس ہوتے ہیں۔ مہنگے عمل کے سامان کو پہنچنے والے نقصان کو روکنے کے لئے ، بے ضابطگی کی صورت میں ، خودکار سوئچنگ یا شٹ ڈاؤن شروع کیا جاتا ہے۔
چونکہ سیمیکمڈکٹر پروسیس زیادہ تفصیل اور اعلی انضمام کی طرف بڑھتا ہے ، درجہ حرارت پر قابو پانے کی درستگی ، ردعمل کی رفتار ، اور چیلرز کی صفائی کی سطح کی ضروریات میں اضافہ ہوتا رہتا ہے۔ سیمیکمڈکٹر چلر ، ان کی اعلی جدید ریفریجریشن ٹیکنالوجیز ، زیادہ ذہین کنٹرول سسٹم ، اور زیادہ قابل اعتماد سسٹم فن تعمیرات کے ساتھ ، چپ مینوفیکچرنگ کے مستحکم اور موثر آپریشن کے لئے ایک ٹھوس درجہ حرارت کنٹرول فاؤنڈیشن بنا رہے ہیں۔
